國Aalborg, Aalborg氣體質(zhì)量流量計(jì), Aalborg控制器 美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)廠家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。 產(chǎn)品特點(diǎn):性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器 典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。 如果您有興趣了解詳細(xì)的產(chǎn)品內(nèi)容,歡迎您來電咨詢,咨詢熱線:021-60402598
點(diǎn)擊次數(shù): 發(fā)布日期:2017年05月18日4 立即分享: 立即咨詢產(chǎn)品特點(diǎn):性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器
典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設(shè)計(jì)特點(diǎn):
-剛性金屬結(jié)構(gòu)
-流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
-最大壓力500psig(34.5Bar)
-泄漏率1*10-7氦氣
-NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
-可傾斜的LCD讀表
-0-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出
-電路保護(hù)
-可用作便攜式的設(shè)備
-0到100%比例顯示
-可配備流量計(jì)算機(jī)
精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力??蛇x±1%滿量程(標(biāo)定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。
重復(fù)性:±0.5%滿量程
回應(yīng)時(shí)間:實(shí)際流速±2%超過滿量程25-100%一般2秒
溫度系數(shù):0.15%滿量程/℃
壓力系數(shù):0.01%滿量程/psi(0.07bar)
氣體/周圍溫度:32℉-122℉(5℃-50℃)
輸出信號(hào):0-5Vdc,最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出:+12Vdc;最大200Ω。+24Vdc可選
時(shí)間恒量:800ms
氣體壓力:最大1000psig(70bar)??蛇x20psig(1.4bar)
流體接觸面材質(zhì):A:GFC鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán)
B:GFC17S,37S,47S,57S,67S,77S不銹鋼系列:316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。
方位靈敏度:水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度;標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置
連接:GFC17和37:1/4"卡套螺紋VCR?或1/8"卡套可選(GFC17)
GFC47:3/8"卡套螺紋
GFC57:3/8"卡套螺紋
GFC67:1/2"卡套螺紋
GFC77:3/4"卡套螺紋
VCR?或3/4"卡套可選(GFC77)
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